初夏已至，在湖北超芯智能装备有限责任公司（以下简称“超芯”）的装配车间内，技术工人正在对全自动刻蚀机进行组装、点检、调试，生产热度正持续升温。
半导体作为数字技术发展的基础，每年为全球贡献超过5000亿美元的产值。而在整个半导体产业链中，装备制造是最具挑战的环节之一。
如何攻克半导体装备制造相关技术攻坚与产业瓶颈难题？“超芯”的回答是：创新！
全自动刻蚀机。
这家位于孝感高新区的高新技术企业，以设计研发和制造显示半导体清洗设备为主，核心产品线涵盖全自动刻蚀机、超高压溅射喷雾系统、纳米气泡发生系统等清洗设备。
“超芯”总经理刘春新介绍，在2020年，公司就已布局半导体行业。2023年，为适应市场需求，在孝感设立生产制造基地，专注于半导体显示行业自动化制造设备研发、设计、组装、测试以及行业内设备开级改造，为客户提供全方位WET制程设备方案和制作。
凭借自主创新的精密控制技术，“超芯”持续做深做精半导体清洗设备，部分产品打破了国外厂商在高端半导体清洗设备领域的长期垄断，突破了多项“卡脖子”技术难题，解决了行业“痛点”，有效提升半导体制造的整体水平和竞争力。
“半导体和面板最大的敌人就是微颗粒。以全自动刻蚀机为例，该产品具备高效率、高均匀性、高兼容性的特点，应用于半导体硅片支撑，适配12英寸晶圆制造需求。”刘春新说，可实现微观层面100纳米级颗粒的精准清洗，清洗效果处于国内领先地位。相较于国外同类设备，能有效节约40%-50%的生产成本，服务成本仅为国外的三分之一，是孝感乃至湖北省首个同类自主研发制造的设备。
据了解，该企业去年出货量达70-80台，实现产值1000万元；今年，随着市场需求扩大和产能提升，预计产值将突破3000万元。目前，该企业相关设备已广泛应用于京东方、华星光电等头部企业的先进生产线，成为国内显示半导体产业链国产化进程中的重要参与者。
策划：左砚文、喇晓光
记者：杨卓玉
通讯员：宋晴
出品：孝感高新区办公室、荆楚网（湖北日报网）
